一种晶圆测试系统用信号传输抗干扰电路及其抗干扰方法

摘要

本发明公开了一种晶圆测试系统用信号传输抗干扰电路及其抗干扰方法，包括：供电模块、稳压模块、信号接收模块、信号调整模块、滤波模块，所述供电模块中电阻R1和电阻R2根据获取的输入电压给稳态触发器U1提供不同的输入电压；所述稳压模块中电容C2用于滤除稳压器U2转换时产生多余干扰频段；所述信号接收模块中三极管Q2作无触点开关控制测试信号的通断，从而能够快速做出响应；所述信号调整模块中电容C10和电容C9并联增大容量，从而减小阻抗提高信号的导通量；所述滤波模块中电容C12与电阻R16并联将有用的信号与噪声分离，进而提高信号的抗干扰性及信噪比，从而提高晶圆测试系统中信号的抗干扰性，提高测试信号的精准。