公开/公告号CN111736209A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-02
原文格式PDF
申请/专利号CN201910226086.2
申请日2019-03-25
分类号G01V1/02(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人王涛;任默闻
地址 100007 北京市东城区东直门北大街9号
入库时间 2023-06-19 08:27:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-05-26
授权
发明专利权授予
机译: 平板表面干涉测量方法及平板表面干涉测量装置
机译: 平板振动器运输车
机译: 更多的平板-干涉仪,特别是四个平板-根据mach和zehnder的干涉仪