公开/公告号CN111742399A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201880089266.4
申请日2018-12-19
分类号H01L21/66(20060101);G01R31/28(20060101);G01R1/04(20060101);G01R1/073(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳;刘芃茜
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 08:27:06
机译: 接触精度保证方法,接触精度保证机构及检查装置
机译: 接触式精度保证方法,接触式精度保证机制和检查装置
机译: 接触式精度保证方法,接触式精度保证机制和检查装置