一种纳米级波带片成像分辨率测试的方法及装置

摘要

本发明公开了一种纳米级波带片成像分辨率测试的方法及装置。本装置包括X射线光源、聚焦镜、标准分辨率板和成像探测器；其中，根据待测波带片的设计分辨率，选择匹配的成像探测器放置在该待测波带片的像平面上；根据该待测波带片的设计分辨率，选择匹配的标准分辨率板并将其放置在该待测波带片的物平面上；所述X射线光源用于经所述聚焦镜照明该标准分辨率板，透过该标准分辨率板的光线经该待测波带片成像于所述成像探测器。本装置可以最直观的检测成像波带片的分辨率和分析其衍射效率。