法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L51/00 专利申请号:2019102085454 申请公布日:20200929
发明专利申请公布后的驳回
机译: 包括具有自组装单分子层的光学元件,具有自组装单分子层的光学元件的EUV光刻投影设备,应用自组装单分子层的方法和器件制造方法
机译: 包括具有自组装单分子层的光学元件,具有自组装单层分子的光学元件的EUV光刻投影设备,自组装单层分子的应用方法,器件制造方法以及由此制造的器件
机译: 具有自组装单分子层的光学元件,具有自组装单分子层的光学元件的EUV光刻投影装置,应用自组装单分子层的方法,装置制造方法和装置