一种集成环形谐振器的边发射半导体激光器

摘要

本发明涉及激光器技术领域，提供了一种集成环形谐振器的边发射半导体激光器，包括输入端口、将信号引至所述输入端口的波导以及用于旁瓣过滤的环形谐振腔，所述环形谐振腔有四个端口，其中两个端口与所述波导重合，且所述环形谐振腔的另外两个端口至少一个设有可将光源垂直输出的反射组件。本发明的一种集成环形谐振器的边发射半导体激光器，通过集成环形谐振器来实现旁波的过滤、以及导出光到其它位置，使得激光器的谱线更少干扰，减少激光器模式跳跃的可能性，从而提高激光器的信号输出以及边模抑制比等器件性能，然后通过制作在芯片上的反射组件，将部分光导出到垂直面，从而实现单个芯片同时有传统出光面和垂直出光位置。