用于大面积表面增强拉曼基底性能评价的自动化装置

摘要

本发明公开了一种用于大面积表面增强拉曼基底性能评价的自动化装置，包括：拉曼探测光路模块、控制模块、装夹模块以及数据处理模块，所述拉曼探测光路模块包括用于发出激光并对样品基底进行检测的拉曼探头；所述控制模块包括处理器、电动滑台、位置传感器和光谱仪；所述电动滑台可实现样品基底和拉曼探头在X、Y、Z三个方向的相对移动。本发明的自动化装置可进行大面积表面增强拉曼基底的性能评价，对各种基底：如玻璃、硅片、纸质、塑料等柔性基底都可以适用；本发明可进行大面积多点检测，同时还具有自动对焦功能，防止移动扫描过程中出现离焦，能保证检测结果的准确性。