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富勒烯单晶纳米线阵列的制备方法及有机场效应晶体管

摘要

本发明提供了一种富勒烯单晶纳米线阵列的制备方法及有机场效应晶体管,制备方法包括以下步骤:提供一氧化硅片作为基底;在基底上设置绝缘层;在绝缘层上沉积光刻胶,并通过光刻技术在光刻胶上进行光刻,以在基底上构筑三维立体通道;配置C60溶液,将构筑有三维立体通道的基底浸没在C60溶液中,并通过提拉法将基底从C60溶液中匀速提拉出来,以在三维立体通道上自组装得到连续且表面光滑的富勒烯单晶纳米线阵列。本发明的制备方法,可以使C60分子在三维立体通道上自组装得到大面积、连续且表面光滑的富勒烯单晶纳米线阵列。该制备方法操作简单,有利于富勒烯单晶纳米线阵列的大面积生长,适合大面积推广应用。

著录项

  • 公开/公告号CN111697134A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-09-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州大学;

    申请/专利号CN202010449299.4

  • 发明设计人 张秀娟;邓巍;揭建胜;卢正军;

    申请日2020-05-25

  • 分类号H01L51/05(20060101);H01L51/40(20060101);H01L51/30(20060101);C30B29/02(20060101);C30B29/62(20060101);C30B7/06(20060101);

  • 代理机构11391 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人周礼涛

  • 地址 215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号独墅湖校区北区

  • 入库时间 2023-06-19 08:20:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-07-28

    授权

    发明专利权授予

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