共面波导结构、集成电路及用于制造平面传输线的方法

摘要

共面波导结构包括设置在衬底的至少一部分上方的介电层和设置在介电层内的平面传输线。在一些情况下，平面传输线可以包括导电信号线和一条或多条地线。在其他情况下，平面传输线可以包括导电堆叠信号线和一条或多条堆叠地线。本发明实施例还提供了一种集成电路以及一种用于制造平面传输线的堆叠信号线和堆叠地线的方法。