公开/公告号CN111678472A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-18
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡身为度信息技术有限公司;
申请/专利号CN202010517580.7
申请日2020-06-09
分类号G01B21/00(20060101);
代理机构32104 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙);
代理人曹祖良;屠志力
地址 214174 江苏省无锡市惠山经济开发区清研路2号C405
入库时间 2023-06-19 08:19:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-15
授权
发明专利权授予
机译: 坐标测量机及补偿坐标测量机的测量误差的方法
机译: 三坐标测量机中的坐标测量机和误差补偿方法
机译: 由基片和由坐标测量机确定的拓扑结构的方法,该坐标测量机是由基片结构边缘的位置的垂直定位期间的系统误差引起的