标准湿气发生器、使用标准湿气发生器的系统、用于检测标准湿气中的异常的方法和用于检测异常的计算机程序产品

摘要

一种标准湿气发生器包括被配置为控制气体流量的流量控制器；连接到流量控制器的干燥器，被配置为吸附气体中的水分子并产生具有背景湿气的干燥气体；连接到干燥器的湿气单元，被配置为向干燥气体添加目标湿气；以及连接到湿气单元的延迟构件，被配置为以取决于干燥气体中的背景湿气的浓度的延迟时间使干燥气体通过。