动态杨氏激光干涉条纹标定系统及探测器像素几何位置偏差标定方法

摘要

本发明涉及动态杨氏激光干涉条纹标定系统及探测器像素几何位置偏差标定方法，方法包括：搭建动态杨氏激光干涉条纹标定系统，利用两束具有频差的高稳定激光束在远场产生动态干涉条纹；通过六自由度位移台，控制激光光纤端口的位置和距离，在图像探测器的成像芯片表面产生多组不同空间频率的动态条纹,记录不同空间频率下探测器每个像素的灰度响应值，采集数量足够多的条纹光场图像；基于相移干涉原理，并利用最小二乘拟合法，对像素沿探测器x轴和y轴方向的纳米级几何位置偏差进行解算。