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一种离子束诱导的液膜图案化印刷方法

摘要

本申请提供了一种离子束诱导的液膜图案化印刷方法,具体包括:准备固体基片和液体样品;在固体基片的表面滴加液体样品的液滴形成液池;在图形发生器上创建图案,根据所创建的图案设置图案的几何参数以及离子束的参数;利用离子束对所述液池进行辐照,基于离子束与液池中的液体分子的相互作用和离子束与固体基片之间的相互作用,离子束驱动液池中的液体流动,以在固体基片上印刷出所创建的图案。本申请所提供的离子束诱导的液膜图案化印刷方法不需要微通道,灵活性强,装置简单,不需要在固体基底上附加复杂的电极和电路,不需要在固体基片的表面做任何的预先处理,可以达到纳米级的精度,所形成的液膜的宽度可以达到200纳米左右,厚度可以达到20纳米左右。

著录项

  • 公开/公告号CN111646425A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-09-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京大学;

    申请/专利号CN202010340913.3

  • 发明设计人 王昊;孟凯鑫;

    申请日2020-04-26

  • 分类号B81C1/00(20060101);B81B7/00(20060101);

  • 代理机构11319 北京润泽恒知识产权代理有限公司;

  • 代理人苟冬梅

  • 地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学

  • 入库时间 2023-06-19 08:14:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-06-09

    授权

    发明专利权授予

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