一种具有多个共面电极一体结构的MEMS加速度传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种电容式MEMS加速度传感器、该加速度传感器的制作方法以及由该加速度传感器组成的加速度传感器组件。该电容式MEMS加速度传感器包括：具有一个上部和一个下部的扭矩弹簧-质量块支撑结构、键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构上部的上部电极盖板和键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构下部的下部电极盖板，所述扭矩弹簧-质量块支撑结构包括支撑框架、一对扭矩臂和平板型质量块，所述扭矩臂包括连接到所述支撑框架的主干和与所述主干相连接的两个分支臂。该加速度传感器耐受冲击震动，低成本、高性能，易于生产，用途广泛。