一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法

摘要

本发明属于滤波领域的换能装置，具体是一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法。包括封装外壳，所述的封装外壳内部设有粘连芯片的基座，基座上侧固定有芯片，所述的芯片以压电基片为衬底，压电基片下侧设置有用于与基座固定的粘结层，压电基片上设置层状金属叉指换能器，层状金属叉指换能器上制备有温度补偿薄膜，所述的层状金属叉指换能器为若干个单端谐振器组成梯形结构的双端器件，所述的封装外壳的外部引脚通过金线和芯片上预留的信号引出部分形成电气连接，所述的芯片和封装壳体之间设置有用于密封的惰性气体。