一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器及其制备方法，属于压力传感器技术领域，采用飞秒激光光丝实现图案化高浓度掺杂，制备出压敏电阻，采用飞秒直写系统对注入层进行退火处理，沉积钝化层并通过光刻、刻蚀得到接触孔，通过光刻、磁控溅射得到金属铝导线和焊盘。在背面通过光刻、刻蚀得到硅杯窗口，通过腐蚀得到应变膜。制备好的器件与硼硅玻璃进行键合，制备出阵列式硅杯型压力传感器，本发明采用飞秒激光光丝掺杂与飞秒激光退火相结合方式，操作简单、掺杂效率高、选择性在晶圆表面进行激光处理，可避免热退火所导致的衬底电学参数变坏、注入杂质再分布以及注入图形发生畸变的问题，整体采用阵列式结构以便于液面不同高度的检测。