一种基于马赫-曾德尔结构的大量程线性压力传感器及其检测方法

摘要

本发明涉及一种基于马赫‑曾德尔结构的大量程线性压力传感器及其检测方法，该传感器包括马赫‑曾德尔结构，马赫‑曾德尔结构包括输入分束器、长度不等的两个干涉臂、输出合束器，当压力作用在压力感知区时，通过器件输出光谱的中心波长的改变量求出压力感知区的有效折射率改变量，再由光弹效应计算出压力感知区所施加压力的大小，输出光谱的中心波长为输出强度与输入强度比值最大时对应的波长。本发明提供的压力传感器及其检测方法具有超大量程，器件测量的量程可达40MPa，当外界压力在0‑40MPa变化时，器件的中心波长在1525‑1565nm之间随压力线性变化。