一种用于测量液体静压导轨油膜厚度的超声波检测装置

摘要

一种用于测量液体静压导轨油膜厚度的超声波检测装置，属于油膜厚度测量技术领域。超声波换能器通过换能器支架与二维角度调整台固接，二维角度调整台固定安装于竖直移动平台的竖直移动载物台上，竖直移动平台固定安装于水平移动平台上，水平移动平台固定在龙门架的水平横梁上，龙门架固定在超精密加工机床床身上，超声波信号发生及接收模块固定在超精密加工机床床身上；超声波信号发生及接收模块与超声波换能器之间通过线缆双向连接进行信号传输。本发明的用于测量液体静压导轨油膜厚度的超声波检测装置，以超声波换能器作为油膜厚度的测量传感器，基于超声波技术对测量液体静压导轨的油膜厚度进行测量，从而提高油膜厚度的测量准确性。