一种原子力显微镜探针振幅的校准方法

摘要

本发明提供一种原子力显微镜探针振幅的校准方法，所述方法包括以下步骤：(a)使用具有导电原子探针的原子力显微镜，在导电基底上进行扫描，找到原子级平整的区域；(b)将针尖定位到步骤(a)得到的原子级平整的区域，给针尖施加偏压，在恒定隧道电流的条件下，增大针尖的外部机械激励，记录针尖振动平衡位置高度z0随针尖振动信号A的变化；(c)建立针尖振动平衡位置高度随振幅变化的作用模型，并根据测量得到的z0与A变化曲线，计算振动信号A0对应的曲线斜率，该斜率即为校准的振幅。本发明不需要额外的校准装置，方法简单可靠，适合实际测试需要，确保了实验室利用探针振幅计算针尖‑样品相互作用力的准确性。