公开/公告号CN111900737A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-06
原文格式PDF
申请/专利号CN202010741875.2
申请日2020-07-28
分类号H02J3/06(20060101);
代理机构41132 郑州知己知识产权代理有限公司;
代理人季发军
地址 450052 河南省郑州市二七区嵩山南路85号
入库时间 2023-06-19 08:01:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-08
授权
发明专利权授予
机译: 投影曝光系统中使用的收集器,用于对准EUV激光等离子源的极紫外(EUV)辐射,其子单元的通道开口从等离子源进给装置中馈入材料,并适应轨迹的散射
机译: 在网络中馈入三相非对称三相交流电压的方法,该方法包括生成直流馈电系统,逐馈反向流系统以及两个系统的叠加;安装设备和Wind合作伙伴。
机译: 用于将直流电转换为交流电的电路装置具有功率补偿功能,因此在一个直流电压分支中馈入逆变器的功率或电流等于从另一分支中汲取的功率或电流