一种存储单元、存储单元串、存储器及存储器的制备方法

摘要

一种存储单元、存储单元串、存储器及存储器的制备方法，其中，存储单元，包括：由内至外依次设置的沟道层、隧穿层、电荷俘获层、反铁电薄膜层和控制栅电极；所述控制栅电极用于提供控制电压；所述反铁电薄膜层用于在所述控制电压的作用下增强隧穿层的电场。所述电荷俘获层用于通过俘获从所述沟道层注入的电荷存储信息。本发明的存储单元工作电压低、存取速度快且存储窗口大。