公开/公告号CN111887974A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-06
原文格式PDF
申请/专利权人 韦伯斯特生物官能(以色列)有限公司;
申请/专利号CN202010373142.8
申请日2020-05-06
分类号A61B18/12(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人付曼;姜冰
地址 以色列约克尼姆
入库时间 2023-06-19 07:57:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-24
实质审查的生效 IPC(主分类):A61B18/12 专利申请号:2020103731428 申请日:20200506
实质审查的生效
机译: RF功率补偿以减少响应于基板散装电阻率变化的沉积速率或蚀刻速率变化
机译: RF功率补偿以减少追加沉积或蚀刻速率响应于基板散装电阻率变化而变化
机译: 响应于基本的本体电阻率变化,RF功率补偿可减少沉积或蚀刻速率的变化