法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/39 申请日:20180614
实质审查的生效
2018-12-28
公开
公开
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流