公开/公告号CN109073991A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN201780025059.8
发明设计人 H-M.索罗万;
申请日2017-04-20
分类号G03F7/20(20060101);G01B11/03(20060101);G03F1/84(20060101);H01L21/67(20060101);G01N21/956(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址 德国上科亨
入库时间 2023-06-19 07:54:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20170420
实质审查的生效
2018-12-21
公开
公开
机译: 图案检查装置,图案位置测量装置,航空图像测量系统,用于测量航空图像的方法,图案位置修复装置,用于修复图案位置的方法,航空图像数据处理装置,用于处理航空图像数据的方法,图案曝光装置,用于曝光图案,制造掩模的方法以及掩模制造系统
机译: 装载口调整夹具,FOUP测量夹具,FOUP晶片位置测量夹具,运动销形状评估夹具,运动销位置评估夹具,以及使用它们的调整,测量和评估方法
机译: 结构检查装置,结构位置测量装置,空中图像测量系统,空中位置测量方法,结构位置恢复装置,结构位置恢复方法,空中图像数据处理装置,空中图像数据处理方法,结构曝光装置,结构曝光方法,掩模的制作方法及口罩制作系统