用于生化检测的微薄膜电容式表面应力传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种用于生化检测的微薄膜电容式表面应力传感器及其制作方法。该传感器包括电容结构上电极、电容结构下电极、硅衬底、电容结构上电极与硅衬底之间的绝缘层、电容结构上电极与外部电路的电连接点、生化敏感面、支撑敏感面和电容结构下电极的支撑层。利用本发明，实现传感器生化敏感面与电容上下电极的物理隔离，可以消除传感器电容上下电极之间的介质的介电常数的变化对测量结果的影响；应用于液体环境下，可以消除了电解液环境所引起的电容上下电极之间的寄生电流。