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公开/公告号CN101064274B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-13
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社迪斯科;
申请/专利号CN200710101831.8
发明设计人 中村胜;
申请日2007-04-25
分类号H01L21/78(20060101);H01L21/301(20060101);H01L21/00(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人蔡胜利
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:13:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-13
授权
2009-04-08
实质审查的生效
2007-10-31
公开
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