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将基于石墨烯的添加剂添加至应用激光烧蚀的涂层中使用的靶材的方法

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摘要

在本发明中提出了通过如下制造用于激光烧蚀过程中并且使得更高效的涂布过程成为可能的靶材部件(17)的制造方法：将以特别的方式制备的添加剂悬浮液(12，13)与作为用于所述靶材的原材料的粉末(11)共混。将由添加剂(12)、原材料(11)和液体(13)构成的悬浮液(14)加热并且在这之后烧结，使得产生实心靶材部件(17)。以此方式制造的部件(17)可有利地用作激光烧蚀过程中的靶。

著录项

公开/公告号CN109071357A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21

原文格式PDF
申请/专利权人普尔塞德翁公司;
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申请/专利号CN201780023118.8
发明设计人 E.弗兰克伯格;E.勒瓦宁;J.凯斯托;S.查德胡里;V.克科宁;J.利马泰宁;
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申请日2017-02-07
分类号C04B35/01(20060101);C04B35/117(20060101);C04B35/626(20060101);C04B35/645(20060101);C08L27/18(20060101);C08K3/04(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人凌志军
地址芬兰坦佩雷
入库时间 2023-06-19 07:52:37

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-12

实质审查的生效 IPC(主分类):C04B35/01 申请日:20170207

实质审查的生效
2018-12-21

公开

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