用于使用具有多种材料的层对基板进行图案化的方法

摘要

本文中公开的技术提供了进行图案化以用于创建高分辨率特征并且还用于在亚分辨率特征的间距上进行切割的方法。技术包括：形成双层或多层芯轴，然后形成沿芯轴的侧壁延伸的一条或更多条材料线。不同的材料可以具有不同的抗蚀刻性，以能够选择性地蚀刻材料中的一种或多种，从而创建特征并在指定的地方创建切口和块。使用位于该多线层上方或下方的蚀刻掩模的蚀刻进一步限定了转移到下层中的图案。例如，当蚀刻具有被填充的开放空间但留下覆盖层的旋涂反转外涂层材料时，具有两层或更多层材料的芯轴使得这些材料中的一种能够被牺牲。