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用于使用目标及参考组件的一致调制检测所制造目标组件中的缺陷的系统、方法及计算机程序产品

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本发明提供一种在目标组件与参考组件之间具有一致调制的所制造装置。所述所制造装置包含具有第一调制的目标组件。所述所制造装置进一步包含所述目标组件的至少两个参考组件，其包含第一参考组件及第二参考组件，其中所述第一参考组件及所述第二参考组件各自具有所述第一调制。此外，本发明提供一种用于使用目标及参考组件的一致调制检测所制造目标组件中的缺陷的系统、方法及计算机程序产品。

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公开/公告号CN109075101A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21

原文格式PDF
申请/专利权人科磊股份有限公司;
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申请/专利号CN201780027411.1
发明设计人 A·帕克;M·普利哈尔;
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申请日2017-05-04
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 07:51:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-19

授权

授权
2019-05-31

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20170504

实质审查的生效
2018-12-21

公开

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