用于具有噪声边界阈值的晶片检验的系统及方法

摘要

本发明涉及一种方法，其包含：接收晶片的三个或三个以上裸片的一或多个图像；确定从所述三个或三个以上裸片中的每一者上的相同位置获取的一组像素强度值的中值强度值；通过比较所述组像素强度值的所述中值强度值与每一像素强度值而确定所述组像素强度值的差值强度值；基于所述组像素强度值的所述中值强度值而将所述像素强度值分组成强度分格；基于所述强度分格中的选定差值强度值而产生初始噪声边界；通过调整所述初始噪声边界而产生最终噪声边界；通过将阈值应用到所述最终噪声边界而产生检测边界；及将所述检测边界外部的一或多个像素强度值分类为缺陷。