一种用于柔性显示器的黑磷烯波形薄膜晶体管及制备方法

摘要

本发明属于柔性电子显示器的技术领域，提供了一种用于柔性显示器的黑磷烯波形薄膜晶体管及制备方法。该方法通过对柔性聚酰亚胺基板施加预拉力，然后在基板表面沉积黑磷烯纳米薄膜，并形成氮化硼保护层，再缓慢释放预拉力，使黑磷烯薄膜形成波形，进一步蒸镀电极，制得黑磷烯波形场效应薄膜晶体管。与传统方法相比，本发明制备的波形薄膜晶体管，不仅具有良好的柔性，临界拉应变及临界压应变较高，而且具有良好的稳定性，载流子迁移率及电流开关比较高，可用于柔性电子显示器中。