一种用于电子玻璃中微小颗粒物成分检测的制样方法及检测方法

摘要

本发明提供一种用于电子玻璃中微小颗粒物成分检测的制样方法及检测方法，包括：裁切得到包含颗粒物的玻璃样品片；将裁切好的玻璃样品片的一断面用砂纸进行打磨，边磨边在光学显微镜下观察颗粒物距该断面的距离，根据颗粒物距该断面的远近，采用由粗到细的砂纸打磨，直至颗粒物暴露出来；将玻璃样品片上打磨好的断面进行抛光；清洗，镀膜。将镀膜的玻璃样品片放入电子显微镜样品仓，找到颗粒物，用能谱仪对颗粒物成分进行检测。本发明在打磨时，不断利用光学显微镜对颗粒物位置进行观察，采用由粗到细的砂纸进行打磨，可提高磨样的速度和成功率，使制样变得简单容易。