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一种叠层栅钙钛矿场效应晶体管及其制备方法

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摘要

本发明涉及一种叠层栅钙钛矿场效应晶体管的制备方法，包括以下步骤：选取Si衬底；在Si衬底表面溅射ITO薄膜形成栅电极层；在栅电极层及Si衬底上溅射HfO

1. 一种叠层栅钙钛矿场效应晶体管及其制备方法 [P] . 中国专利： CN108987575A . 2018-12-11
2. 一种半透明钙钛矿/柔性CIGS四端叠层太阳电池及其制备方法 [P] . 中国专利： CN114093862A . 2022-02-25
3. It possesses the field-effect transistor which designates the compound oxide of perovskite die as channel formation and the memory device null perovskite [P] . 日本专利： JP5552638B2 . 2014-07-16

机译：它具有场效应晶体管，该场效应晶体管将钙钛矿管芯的复合氧化物指定为沟道形成，并且存储器件中没有钙钛矿
4. RAW MATERIAL SOLUTION FOR FORMING PEROVSKITE-TYPE OXIDE THIN FILM, METHOD FOR FORMING PEROVSKITE-TYPE OXIDE THIN FILM AND PEROVSKITE-TYPE OXIDE THIN FILM [P] . 日本专利： JP2001072416A . 2001-03-21

机译：钙钛矿型氧化物薄膜的原料制备方法，钙钛矿型氧化物薄膜和钙钛矿型氧化物薄膜的制备方法
5. PEROVSKITE COMPOUND, METHOD FOR PRODUCING THE PEROVSKITE COMPOUND, CATALYST FOR FUEL CELL INCLUDING THE PEROVSKITE COMPOUND AND METHOD FOR PRODUCING THE CATALYST [P] . 美国专利： US2020283307A1 . 2020-09-10

机译：钙钛矿化合物，钙钛矿化合物的制备方法，包含钙钛矿化合物的燃料电池用催化剂及其制备方法