电流体动力学喷印图案三维柔性结构的制备方法及设备

摘要

本发明公开了一种电流体动力学喷印图案三维柔性结构的制备方法及设备，其包括机架，机架上设有承载平台；喷印模块；喷印平台；聚焦离子束设备固定装置，设置在喷印平台上端，且所述聚焦离子束设备固定装置包括底板，所述底板相邻两边分别设有用于夹持柔性基板的夹持机构和用于使得聚焦离子束可扫描柔性基板后侧的激光移动机构，通过夹持机构对柔性基板进行夹持，使柔性基板处于垂直状态，一端固定在夹持机构上，另一端呈现自由状态，聚焦离子束设备正对柔性基板背面，从柔性基板的自由端向固定端方向，聚焦离子束设备按照预先设定的路径进行局部刻蚀，利用离子注入和溅射，使喷印平面图案的柔性基板发生变形，形成不同形状的三维结构。