一种单晶硅切割渣及切割废液的回收处理方法

摘要

本发明公开了一种单晶硅切割渣及切割废液的回收处理方法，包括以下步骤：(1)、在处于搅拌下的单晶硅切割渣及切割废液中加入盐酸，搅拌反应后得混合料液；(2)、将混合料液加热蒸发进行固液分离，得到碳化硅、硅和杂质的固体混合物和气体，将气体蒸出冷凝后得水和聚乙二醇的混合液，脱水后升温排水得聚乙二醇；(3)、将碳化硅、硅和杂质的固体混合物经震荡清洗和重力分离得到碳化硅和硅的固体混合物；(4)、将碳化硅和硅的固体混合物加入到硝酸和HF组成的混合酸溶液中，反应后将氟硅酸蒸出，冷凝得氟硅酸，再将氟硅酸加工回收硅，反应后剩余碳化硅和酸液，过滤酸洗、水洗并干燥得碳化硅。本发明方法环保且具有很大的经济效益。