法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C03B25/02 申请日:20120302
实质审查的生效
2018-11-27
公开
公开
机译: 用于光学用途的陶瓷材料的热处理设备,用于光学用途的陶瓷材料的热处理方法,用于合成石英玻璃的热处理方法,用于制造光学系统的方法以及用于制造曝光设备的方法
机译: 用于光学用途的陶瓷材料的热处理设备,用于光学用途的陶瓷材料的热处理方法,用于合成石英玻璃的热处理方法,用于制造光学系统的方法以及用于制造曝光设备的方法
机译: 用于光学陶瓷材料的热处理设备,用于光学陶瓷材料的热处理方法,用于合成石英玻璃的热处理方法,光学系统制造方法和曝光设备制造方法