公开/公告号CN108896465A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 交通运输部天津水运工程科学研究所;天津港(集团)有限公司;
申请/专利号CN201810710001.3
申请日2018-07-02
分类号
代理机构天津滨海科纬知识产权代理有限公司;
代理人杨慧玲
地址 300456 天津市滨海新区塘沽新港二号路2618号
入库时间 2023-06-19 07:23:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N15/08 申请日:20180702
实质审查的生效
2018-11-27
公开
公开
机译: 真空处理装置包括真空室,射束发生器和工件保持装置,待加工的工件插入该真空室中,并且该工件保持装置可旋转地安装在管状主体中,在管状主体中设有第一驱动器和第二驱动器。
机译: 具有辅助力的物体处理装置具有由真空室中的真空发生器产生的真空驱动的致动器马达,该真空室连接到吸头
机译: 用于真空室的载体,用于在真空室,真空处理系统中测试转移装置的系统,真空处理系统和用于在真空室中测试转移装置的方法