太阳能级硅片切削液及硅片生产方法

摘要

本申请公开了一种太阳能级硅片切削液及硅片生产方法，所述切削液由以重量份数计的如下组分组成：聚乙二醇30—50份、二甘醇8—15份、三乙醇胺3—5份、油酸二乙醇胺15—20份、EDTA 4—6份和水10—30份。本发明提供的切削液中分散剂同时使用聚乙二醇和二甘醇，使悬浮颗粒的分散效果明显提高，并合理优化配置其它辅助试剂，使硅粉不容易附着在磨料碳化硅的表面，从而提高了切割效率；另外，螯合剂EDTA的合理配入明显抑制了硅片少子寿命的降低，润滑剂的合理配入在减少硅片表面损伤的同时还可以降低钢线表面的磨损，从而提高硅片成品率并降低钢线断线率。本发明可明显提高砂线切割效率、降低生产成本。