公开/公告号CN108832764A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州舍勒智能科技有限公司;
申请/专利号CN201810667337.6
发明设计人 周敏;
申请日2018-06-26
分类号
代理机构苏州广正知识产权代理有限公司;
代理人刘盼盼
地址 215153 江苏省苏州市高新区通安镇真北路88号6号楼2F
入库时间 2023-06-19 07:17:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H02K7/06 申请日:20180626
实质审查的生效
2018-11-16
公开
公开
机译: 测量设备,一种测量方法,一种曝光设备以及一种制造设备的方法,能够精确地控制位置与空中图像之间的位置关系
机译: 具有精确力和位置控制同时的伺服弹性执行机构的工件加工装置
机译: 带有伺服弹性执行器系统的工件加工装置,同时进行精确的力和位置控制