显微镜光路系统、显微镜及校准方法、装置、设备及介质

摘要

本发明实施例公开了显微镜光路系统、显微镜及校准方法、装置、设备及介质，所述系统包括：光源、起偏模块、分束镜、物镜、检偏模块、物镜电荷藕合器件CCD图像传感器；其中，起偏模块、光源与分束镜在同一水平线上；起偏模块位于光源与分束镜之间，用于将光源发出的光束调制成特定的偏振态；检偏模块、分束镜、物镜以及CCD图像传感器在同一竖直线上；检偏模块位于分束镜与CCD图像传感器之间，用于对分束镜透射的光进行检偏。本发明实施例的技术方案实现提供一种固化的测量装置，避免对穆勒矩阵测量系统中的旋转对称性造成破坏，便于提取测量样品中的角度无关参量。