一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波方法

摘要

本发明提供一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波方法，为一种新的滤波方法；同时，还提供了该方法制备的器件及制备方法，滤波效率不随波长变长而降低、滤波带宽不随波长变长而展宽，可以实现高效和窄带滤波。本发明滤波器采用高阻硅共振结构悬空技术，提高了滤波效率和导模共振的品质因子，降低了共振结构的损耗，降低了带宽；采用二维阵列结构，克服了器件不对称问题。