基于光学定位技术的原子力显微镜精确重复定位实现装置

摘要

本发明属于原子力显微镜重复定位领域，具体为基于光学定位技术的原子力显微镜精确重复定位实现装置，由压电扫描台、样品安装座、探针位移台和探针安装座组成。其中样品安装座的样品夹与样品夹固定台之间采用磁吸附配合限位球，每次样品夹的安装都在样品夹固定台的中心附近，上下左右偏差达到um量级；进一步采用探针台上的半导体激光器与样品夹上的四象限光电二极管配合，通过控制压电扫描筒与切边压电配合达到nm量级的高精度定位。并且每次测量会记忆测量原点，以压电扫描筒的偏转电压和四象限光电二极管返回的基准为原点基准。下次测量的范围为设定范围的2‑3倍找到原点后，重置原点后再以设定范围进行重新扫描。