公开/公告号CN108827972A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏方建质量鉴定检测有限公司;
申请/专利号CN201810619897.4
申请日2018-06-14
分类号G01N21/88(20060101);
代理机构11508 北京维正专利代理有限公司;
代理人杨春女
地址 211100 江苏省南京市江宁经济技术开发区水长街19号
入库时间 2023-06-19 07:14:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20180614
实质审查的生效
2018-11-16
公开
公开
机译: 缺陷成像设备,具有该缺陷成像设备的缺陷检测系统以及使用该缺陷成像系统检测缺陷的方法
机译: 用于缺陷检查,缺陷检测系统,薄膜制造设备,缺陷检测,缺陷检测方法和薄膜制造方法的成像装置
机译: 用于缺陷检查,缺陷检测系统,薄膜制造设备,缺陷检测,缺陷检测方法和薄膜制造方法的成像装置