法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20131125
实质审查的生效
2018-11-06
公开
公开
机译: 根据光切法进行光学扫描和轮廓测量的装置具有光学照明路径和成像路径,其在两个分开的位置处穿过光瞳平面以形成入射光束的斜率
机译: 对于像差测量或用于校正像差的光瞳滤光片,作为像差测量方法和光瞳滤光片
机译: 用于散射光测量装置的测试装置,用于散射光测量装置的测试装置的生产方法以及用于检查散射光测量装置的方法