一种准随机结构的高级衍射抑制光栅

摘要

本发明公开一种准随机结构的高级衍射抑制光栅，包括不透光基底；所述不透光基底上开设有多个形状和面积相同且互不相交的多边形基元，所述不透光基底上还设置有多个梯形区域，所述多个梯形区域呈正方点阵周期性排列、且正方点阵的周期为d，所述每个梯形区域内有且仅有一个所述多边形基元，所述多边形基元中心在所述梯形区域内随机分布。与现有的高级衍射抑制光栅相比，有效降低了工艺难度，解决了基元加工误差重新引入高级衍射的问题；在红外、可见光、极紫外、软X射线等各个波段均能够有效抑制2n，3n级高级衍射(n为非零整数)，为提高光谱测量精度和单色化光谱纯度提供了技术保证和工艺支持。