一种PFG Emission Current检测电路

摘要

本发明公开了一种PFG Emission Current检测电路，属于半导体制造领域。PFG Emission Current检测电路包括：电路供电单元(1)、信号转换单元(2)、信号处理单元(3)。由于所选放大器均需求±15V供电，需由电路供电单元(1)将原先所有的24V直流电转化为所需的供电；由PFG检测到的信号为电流信号，需要由信号转换单元(2)将其转化为电压信号，再由放大器对信号进行处理；信号需要由信号处理单元(3)放大，仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍，再由运算放大器正向放大5倍(或不放大)再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。