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一种反射型光束分割等比递减器及其制作装置、制作方法

摘要

本发明涉及一种反射型光束分割等比递减器及其制作装置、制作方法,解决现有分幅相机的动态范围通过台阶滤片测量,导致激光器的脉冲展宽,降低测量精度的问题。该反射型光束分割等比递减器包括基体,基体的一面为反射面,反射面上镀有等间距分布、反射率等比递减的多种反射膜。同时,本发明还提供一种上述反射型光束分割等比递减器的制作装置及制作方法,该装置包括压板、固定底座、多孔光阑和单孔光阑;固定底座上设置有安装反射型光束分割等比递减器的卡槽,压板设置在固定底座的上端;多孔光阑设置在卡槽的前端,用于设置反射型光束分割等比递减器的镀膜区域;单孔光阑设置在多孔光阑的前端,用于不同光阑孔的镀膜。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20180511

    实质审查的生效

  • 2018-10-23

    公开

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