移送工具模块以及具有该移送工具模块的元件处理器

摘要

本发明涉及元件处理器，更详细地说涉及从装载有多个元件的诸如晶圆环等的装载部件拾取元件并卸载元件。本发明公开了一种元件处理器，包括：装载部件工作台(200)，从装载有附着多个元件(1)的多个装载部件(60)的装载部件卡闸部(100)接收装载部件(60)并沿水平方向移动所述装载部件(60)；卸载部(300)，从所述装载部件工作台(200)分别沿水平方向分隔配置，并且设置有卸载部件(70)，其中所述卸载部件(70)从装载部件(60)接收元件(1)并装载所述元件(1)；移送工具模块(500)，在拾取位置(P1)从所述装载部件(60)拾取元件(1)，在所述各个卸载部(300)的卸载位置(P2)向所述卸载部件(20)卸载元件(1)。