用于检测工件表面拓扑结构的测量方法及测量装置

摘要

本发明涉及一种借助相干断层扫描仪（28）检测工件（3）的表面拓扑结构（2）的测量方法，其中，借助机械手（4）和/或偏转单元（7、11）沿实际路径（19）引导相干断层扫描仪（28）的参考臂（12）的测量区域（14），所述实际路径由于干涉效应、特别是机械手（4）的循迹误差而至少部分偏离目标路径（18）；以及在实际路径（19）的至少一个测量点（17）处，测量所述测量区域（14）的零点（15）与工件表面（10）之间的实际距离（dm）。本发明提出，为补偿对至少一个测量点（17）的干涉效应，预先设定参考臂（12）的规划路径长度（lp），以及借助该规划路径长度（lp），将测得的实际距离（dm）标准化为标准距离（dn）。此外，本发明还涉及一种用于检测工件（3）的表面拓扑结构（2）的测量装置（1）。