一种光学调焦机构中调焦距离测量装置及测量方法

摘要

本发明具体涉及一种光学调焦机构中调焦距离测量装置及测量方法，其解决了小型化、轻量化精密测量系统无法实现高精密测量大位移的问题。一种光学调焦机构中调焦距离测量装置，包括传感器组件；传感器组件包括电涡流传感器和菱形被测件；调焦移动镜框通过导轨与调焦基座相连，其中调焦移动镜框可沿导轨在光轴方向做直线往复运动；驱动组件设置调焦基座上；驱动组件驱动调焦移动镜框沿导轨在光轴方向做直线往复运动；菱形被测件固定在调焦移动镜框上，电涡流传感器是通过测量距菱形被测件的移动距离来间接得到调焦移动镜框沿光轴方向的位移距离。